Dòng Nội dung
1
Vật lý và kỹ thuật màng mỏng / Nguyễn Năng Định
Hà Nội : Đại học Quốc gia Hà Nội, 2005
238 tr. : hình vẽ, bảng ; 24 cm.
Ký hiệu phân loại (DDC): 530.417
Nhập môn vật lí kĩ thuật màng mỏng. Động học chất khí. Hấp thụ và ngưng tụ. Vật lí và kĩ thuật chân không cao. Lý thuyết bốc bay chân không. Chế tạo màng mỏng bằng kĩ thuật chân không. Phương pháp phún xạ. Các phương pháp phân tích đặc trưng màng mỏng
Số bản sách: (0) Tài liệu số: (1)